纳米压印覆膜装置 覆膜装置以真空吸附固定基板或晶圆,它还支持将载体薄膜层压在基板或晶圆上。特殊硬度的滚轮,使之拥有高精度的贴合及脱模,避免结构变形。该装置便于手动使用,对于初学者或刚启始的专案来说,此简单快速的工序可以提供非常好的工作及实验结果。覆膜装置标准尺寸为 4 英寸、6 英寸、8 英寸 SEMI 标准晶圆,其他尺寸的覆膜装置也可以轻松制作。欢迎您随时来电 +46 (0) 46 80222 或来信 info@optool.se 询问进一步相关信息。 标准聚合物模制造工序 Place the stamp on the chuck. Laminate the carrier foil on stamp. UV-curing the polymer-stamp material. Delaminate the carrier foil from stamp. Now the polymer-stamp is ready to use. 欢迎您随时来电 +46 (0) 46 80222 或来信 info@optool.se 向 OpTool 索取聚合物模生产和最终基材压印的详细流程说明和视频。