OpTool 提供針對不同基板材質 (如:矽、玻璃、抗蝕劑/光刻膠… 等) 的抗粘劑/防粘劑。其可通過蒸塗、噴塗、浸塗…等方式塗布。
Optool 主要抗粘劑/防粘劑:
OP-NTF:其為一種氟化矽酮 (F13),用於基板/模板的抗粘/防粘。基板/模板的材質可以是矽、玻璃… 等。
OP-F17G163:其為一種氟化矽氧烷,旋塗於矽、玻璃、鎳或抗蝕劑等材料基板/模板上。塗層厚度在 2-25nm 範圍內,具體取決於應用的工藝。
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